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鉅亨網新聞中心第七條第8款1.專利、商標、著作或其他智慧財產權之內容:爐管製程的派工控制方法2.專利、商標、著作或其他智慧財產權之取得日期:104/11/013.取得專利、商標、著作或其他智慧財產權之成本:NT$51,2004.其他應敘明事項:一種爐管製程的派工控制方法,包括下列步驟。在多批晶圓進入爐管之前,算出各批晶圓的特性變異值。將多批晶圓依照特性變異值的大小進行排序。將多批晶圓依照特性變異值由大到小的順序對應於爐管中造成特性變異值變小到變大的多個位置擺放在爐管中。
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